某半导体集成块集成块生产厂在晶圆加工整理过程中 中,运行硅烷做出硅本质生长的,烟气干洗塔所产生高浓硫酸浓度含硅生产焦化废水。生产焦化废水兼备pH震荡大(2-11)、硅纯度高的优点,传统式整理最简单的方法易出来硅垢短路问题。
废水处理方法化学成分及的来源
污水一般部分为:
容解性硅酸盐
:SiO₂含量达1000-1500mg/L
盐酸/氢防氧化钠
:干洗塔酸碱度干洗液农药残留
颗粒状硅
:纳米级级SiO₂电解质溶液
痕量砷
:原石悬浮物携带
鑫霖环保设计流量
企业创新通过"二级中合+膜过滤系统+汽化结晶体"加工:
一层结合
:用CaO调节器pH至4-5,添加硅酸钙沉垫,硅删去率60%。
下级结合
:加Na₂CO₃将pH的提升至9,进步积淀余量硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透膜平台
:0.02μm卫浴陶瓷膜过滤清洁奈米级硅科粒,通量稳定性高在80LMH。
MVR化掉器
:沉淀高盐污废水 ,沉淀出Na₂SO₄副成品,水造纸废水处理率超90%。
结果英文治疗效果
总硅从1500mg/L低于5mg/L下类
砷含锌量从0.8mg/L降为0.01mg/L
系统化无结渣自动运行小于2年
去年收回盐酸钠晶胞约800吨