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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为89英寸晶圆研发线配合的超纯净水体统,天天诞生含硅生活污水150吨。生活污一般的水都虽无天价属,但硅硫含量高易积灰,且阻值率需达到18MΩ·cm就能循环。原本处里艺無法满足了新修订的《手机鑫霖环保水污染问题物的排污规范标准》(GB39731-2020)尤其是的排污允许值。 工业废水材料特别 大部分被污染的物 :电解质溶液硅(200-300mg/L)、顆粒硅(颗粒直径0.1-1μm) 专项 耍求 :TOC<10μg/L,硼量<5μg/L 水质量特质 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅化学物质形态特征复杂性 补救的流程的流程 特色化选择"梯级膜隔离+电去正离子"女子组合鑫霖环保: 微滤预外理 :1μm卫浴陶瓷膜拦阻大颗粒状硅,通量恢复80LMH 阴离子互换硅橡胶 :D201大孔环氧树脂取舍性活性炭吸附硅酸氧分子 特殊RO程序 :首要段回收分类处理率60%,第2段分为高脱硼膜元器件 EDI电去化合物 :瞬时电流强度2A/m²,不断剔除残余物阳离子 太阳光的紫外线消菌 :254nm紫外光线用量40mJ/cm² 技术设备短板 设计专用的阻硅剂(有机的胺类软型物),减轻膜污染问题时间间隔3倍 EDI模组转型升级流道设计的,硅清除率提拔至99.8% 网络硅进行分析仪器(侧量比率0.1-500μg/L)把控好精准度把控好 启用功效 经第第三者方检验: 总硅从280mg/L降为0.05mg/L 硼的含量从8μg/L减少为0.3μg/L 设备收废率从原40%提高至68% 膜进行更换阶段增长至5年,年运营价格消减35%

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